Excimer UV Systems

充分利用98858vip威尼斯下载独特的高能UV准分子激光器与完整的光学系统配置的LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS, and more.


  • Vertical Integration 避免风险和享受24/7操作与98858vip威尼斯下载的长期寿命激光,光学和机械.
  • Proven Industrial Tools 依赖与制造高性能移动显示器相同的实现技术.
  • UV Wavelength Options 选择193,248和308 nm系统,加上自定义157或351 nm的选项.
UV准分子激光画线

将98858vip威尼斯下载的专业知识应用于准分子UV工艺

在紫外激光和光学系统方面有50年的经验, 98858vip威尼斯下载理解管理的挑战, shaping, 聚焦准分子光束. 多亏了垂直整合, we design, manufacture, 并按照最严格的标准组装完整的系统.

准分子UV系列产品

UVtransfer产品形象

一个独特的三合一系统为MicroLED显示制造, 启动激光发射(LLO), 激光诱导正向转移(LIFT), and Repair/Trimming, 均具有高吞吐量.

3-in-1值-所有三个进程的单一系统. 高通量-高能准分子激光器支持大的场尺寸. Future-Proof -处理模具尺寸从50微米到5微米.
LineBeam VYPER

线束准分子紫外激光器可以在大型基板上大规模生产低温多晶硅(LTPS)背板,产量最高.

长线横梁-可达1500毫米. High Homogeneity - 0.6 % (2σ). 大震源深度-可达±150 μ m.
UVblade product image

UVblade准分子激光器为LLO提供了一种高性价比的解决方案,具有较高的光学效率和广泛的可扩展性,在线长和能量密度.

High Homogeneity - 1.8 % 大震源深度-高达±200 μ m. 高脉冲能量-高达2000兆焦耳.
UV光学元件产品形象

获得最佳的准分子光束输送的光学机械工具 具有独特的高脉冲能量,短紫外线波长和高 power.

Homogenize a Beam - <± 5% fluence variation. 可变衰减-精确的能量控制. 掩膜图像投影- 4-10X退焦.
VarioLas Product Image

VarioLas准分子紫外激光器是基于强大的COMPex准分子激光器的高质量紫外微处理与线束或正方形束场形状.

高能量密度-高达7.5 J/cm squared. 多用途和可调-线或正方形轮廓. 高光学分辨率-≥5 μ m.
GeoLas Pro产品图片

GeoLasHD准分子UV系统结合193nm脉冲, 高性能偏光显微镜, 激光消融ICP-MS高清摄像机观测.

高光学分辨率- 1 μ m. 可变样品点- 2 - 160µm. 高脉冲稳定性- 1% (rms) .
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